一、产品描述
MFLGQ-2Z是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜可以承重1000Lbs，与本公司大多数管式炉配套使用时。各通道气路配单独的流量设定和状态显示，便与操控。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。。
二、产品特点
1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。
技术参数：
| 性能 | 气路通道 | 2路 （可做3 4 5 路供气） |
| 气路流量控制 | 质子流量控制器（七星流量计） | |
| 控制精度 | ±1.5%F.S | |
| 重复精度 | ±0.2%F.S | |
| 流量范围 | 1-500 SCCM | |
| 机械压力表 | 一块机械压力表在面板，和混气灌连接 | |
| 量程：-0.1～0.15 Mpa | ||
| 规格 | 外形尺寸 | 参考尺寸600*700*750mm（深*宽*高) |
| 重量 | 40KG |
一、售后服务
：一年保修，终身技术支持。（特别提示，耗材部分如加热元件、样品坩埚等不在保修范围内因使用腐蚀性气体造成的损害不在保修范围内）
二、注意事项
·严禁氧气和氢气同时使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的气体前请严格检查气路的气密性，使用氢气前排空管内的氧气。不用氢气时，应关闭阀门。
·流量计通道采用的材料为∶00Cr17面il4Mo2（相当于316L不锈钢），通入的气体应无水汽、低泄漏、如果要使用腐蚀性气体用户应在定货时声明。
·不得通氯化物、硫化物、等易腐蚀的气体，否则容易损坏通气管道，混气罐等不锈钢材质的配件。
·由于气瓶内部气压较高，所以向混气系统内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。减压阀应采用调控范围在0.02-0.25Mpa 的专用气体减压阀（YQY-6（氧）、YQQ-9（氢）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氩气）等）
·氢气瓶必须使用专用的减压器，开启气瓶时，操作者应站在阀口的侧后方，动作要轻缓。.气瓶应放置在阴凉通风处，避免阳光直晒，又能耐火的专门建筑物或室外，严禁将气瓶和高温设备放在一起。
·严禁使用瓶口有油污的氧气瓶。
·每只气瓶必须保留0.5 MPa的余压。
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