无尘净化室(Clean Room),亦称为无尘室,净化室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘净化室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘净化室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
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无尘净化室(CleanRoom),亦称为无尘室,净化室或无尘车间
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